Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2-01.jpg>. — Текст: электронный
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Год 2022
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
Год 2023
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
Год 2024
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
8
|
8
|