Sarkar, Jaydeep. Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2018
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
Год 2019
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
2020
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2021
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Год 2022
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2023
|
0
|
0
|
0
|
9
|
9
|
|
Год 2024
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
25
|
25
|
