Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=335339>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2.jpg>. — Текст: электронный
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Вчера
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Последние 30 дней
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Последние 365 дней
|
0
|
0
|
0
|
13
|
13
|
|
За все время
|
0
|
0
|
0
|
17
|
17
|
