Оптический контроль параметров подложек и эпитаксиальных структур карбида кремния = Optical control of the parameters of substrates and epitaxial structures of silicon carbide / В. В. Лучинин, М. Ф. Панов, М. В. Павлова, Ф. Е. Рыбка. — 1 файл (787 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-2-175-186. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 175-186. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48315869>.