Handbook of silicon based MEMS materials and technologies [Электронный ресурс] / Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto and Teruaki Motooka. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — (Micro & Nano Technologies). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515944>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Вчера
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Последние 30 дней
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
Последние 365 дней
|
0
|
0
|
0
|
34
|
34
|
|
За все время
|
0
|
0
|
0
|
47
|
47
|
