В работе исследована возможность формирования золотых наночастиц термическим отжигом и ионным облучением тонкой пленки на поверхности нитрида кремния. Показано, что термически наночастицы формируются, но с очень большим разбросом по размерам, а после облучения ионным пучком частиц обнаружить не удалось. Кроме того, подробно исследована зависимость размера наночастиц на поверхности кремния от дозы тяжелых ионов Та.