Details

Title: Оптическая диагностика плёнок оксида индия, легированного оловом: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 16.03.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.03.01_11 «Физика полупроводников и наноэлектроника»
Creators: Костромин Никита Андреевич
Scientific adviser: Шалыгин Вадим Александрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2022
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: Other
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 16.03.01
Speciality group (FGOS): 160000 - Физико-технические науки и технологии
Rights: Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 13.06.2017 г. № 91
Record key: ru\spstu\vkr\17277

Annotation

Проведён анализ экспериментальных спектров. Определены спектральные зависимости показателя преломления и коэффициента экстинкции. С помощью метода матриц переноса и модели Друде смоделированы спектры пропускания и отражения. Проведено сравнение разработанного метода с другими методами диагностики.

The experimental spectra were analyzed. The spectral dependences of the refractive index and the extinction coefficient were determined. Using the transfer matrix method and the Drude model, the transmission and reflection spectra were modeled. The developed method was compared with other diagnostic methods.