Details
| Title | Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие |
|---|---|
| Creators | Малов И. Е. ; Шиганов И. Н. |
| Imprint | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008 |
| Collection | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE" ; Общая коллекция |
| UDC | 621.375.826(075.8) |
| LBC | 32.86 |
| Document type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | BIBLIOCLUB\0000256827 |
| Record create date | 6/23/2025 |
Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».
Access count: 16
Last 30 days: 9
