Details
Предмет исследования. Предметом исследований являются параметры шероховатости, полученные методами когерентной оптики, полированных поверхностей, монокристаллических материалов ИК-диапазона, на примере монокристалла ZnGeP[2]. Цель работы - создание способа оценки шероховатости поверхности кристаллов дифосфида цинка-германия ZnGeP[2], который возможно использовать и интегрировать в процесс полировки на основе методов когерентной оптики. Основные результаты. Разработана методика оценки качества обработки поверхности кристаллов с применением пространственного фильтра. Разработана экспериментальная установка, позволяющая оценить качество полировки поверхности кристаллов ZnGeP[2]. Измерения интенсивности рассеянного при отражении от поверхности кристалла излучения, обусловленного её шероховатостью, проводились с использованием системы линз и пространственного фильтра, подавляющего постоянную составляющую в спектре излучения. В качестве источника излучения использовался твердотельный лазер с длиной волны 532 нм и мощностью 20 мВт. В качестве измерителя интенсивности рассеянного излучения использовался фотодиод ФД-24К, подключённый к универсальному вольтметру В7-40/5. Измерения значений интенсивности были проведены для 6 образцов кристаллов с различным качеством обработки их граней. Практическая значимость. Проведённая верификация полученных экспериментальных данных с использованием промышленного профилометра показывает применимость разработанной методики для качественной оценки шероховатости поверхности оптических ИК- материалов, в том числе, имеется возможность интегрировать данный метод в процесс полировки.
Subject of the study. The subject of the research is the parameters of roughness obtained by methods of coherent optics, polished surfaces, monocrystalline materials of the infrared range, on the example of the monocrystal ZnGeP[2]. The aim of the work is to create a method for estimating the surface roughness of zinc-germanium diphosphide ZnGeP[2] crystals, which can be used and integrated into the polishing process based on methods of coherent optics. The main results. A methodology for assessing the quality of surface treatment of crystals using a spatial filter has been developed. An experimental setup has been developed to evaluate the quality of surface polishing of ZnGeP[2] crystals. Measurements of the intensity of the scattered radiation reflected from the surface of the crystal, due to its roughness, were carried out using a system of lenses and a spatial filter that suppresses the constant component in the radiation spectrum. A solid-state laser with a wavelength of 532 nm and a power of 20 mW was used as the radiation source. As a meter of the intensity of scattered radiation, a photodiode FD-24K was used, connected to a universal voltmeter B7-40/5. Measurements of the intensity values were carried out for 6 samples of crystals with different quality of processing of their faces. The practical value. The verification of the experimental data obtained with the use of an industrial profile meter shows the applicability of the developed method for the qualitative assessment of the surface roughness of optical infrared materials, including the possibility of integrating this method into the polishing process.
Access count: 47
Last 30 days: 12
