Details
| Title | Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 1. — С. 57-64 |
|---|---|
| Creators | Герасимова А. К. ; Воронковский В. А. ; Калмыков Д. А. ; Алиев В. Ш. ; Володин В. А. ; Демьяненко М. А. |
| Imprint | 2025 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика ; Физическая оптика ; оксид титана ; нестехиометрический оксид титана ; оптические свойства ; тонкие пленки оксидов ; фотоэлектронная спектроскопия ; рентгеновская спектроскопия ; спектральная эллипсометрия ; оптические потери ; кристаллы пластинчатой формы |
| UDC | 535.2/3 |
| LBC | 22.343 |
| Document type | Article, report |
| Language | Russian |
| DOI | 10.61011/OS.2025.01.59880.7201-24 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\76985 |
| Record create date | 10/3/2025 |
Исследованы оптические свойства нестехиометрических оксидов титана TiO[2-delta] с различным отклонением от стехиометрии delta. Пленки синтезированы методом ионно-лучевого распыления-осаждения. Состав пленок определен методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлена взаимосвязь оптических параметров (n, k) пленок с параметром delta. Обнаружено, что отжиг пленок состава delta ~ 0.58+/-0.02 при температурах 350-600 С приводит к существенному возрастанию поглощения в терагерцовой области спектра из-за роста в пленках (по данным сканирующей электронной микроскопии) кристаллов пластинчатой формы микронных размеров.
Access count: 26
Last 30 days: 10
