Details
| Title | Исследование возможности использования СВЧ-фильтра в качестве датчика осаждения пленок = Investigation of the Possibility of using a Microwave Filter as a Film Deposition Sensor // Инженерная физика. – 2025. – № 12. — С. 33-41 |
|---|---|
| Creators | Телегин А. М. ; Калаев М. П. ; Воронов К. Е. ; Николаев Л. В. |
| Imprint | 2025 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика ; Физика твердого тела. Кристаллография в целом ; СВЧ-фильтры ; осаждение плёнок ; микрополосковые фильтры ; тонкие плёнки ; резонансные частоты ; диэлектрическая проницаемость ; микрополосковые датчики ; microwave filters ; film deposition ; microstrip filters ; thin films ; resonant frequencies ; permittivity ; microstrips sensors |
| UDC | 539.2 |
| LBC | 22.37 |
| Document type | Article, report |
| Language | Russian |
| DOI | 10.25791/infizik.12.2025.1521 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\78066 |
| Record create date | 1/21/2026 |
В статье исследуется возможность использования микрополоскового полосового Hairpin-фильтра в качестве датчика для контроля осаждения тонких плёнок. Принцип работы основан на регистрации изменения амплитудно-частотной (АЧХ) и фазо-частотной (ФЧХ) характеристик фильтра, вызванных изменением эффективной диэлектрической проницаемости при осаждении на его поверхность диэлектрических плёнок (раствор гексорала, приборное масло). Экспериментально показано, что нанесение веществ приводит к заметному сдвигу резонансной частоты и формы АЧХ, что подтверждает чувствительность метода. Для автоматизации измерений предложена конструкция на основе SDR-приемника ADALM-Pluto с алгоритмом пошагового частотного сканирования, реализованном на языке Python. Предлагаемое решение обладает простотой конструкции и может быть применено для мониторинга загрязнений, например, для контроля выбросов с двигателей космических аппаратов.
This article explores the feasibility of using a microstrip hairpin bandpass filter as a sensor for monitoring thin film deposition. The operating principle is based on recording changes in the filter's amplitude-frequency response (AFR) and phase-frequency response (PFR) characteristics caused by changes in the effective permittivity during the deposition of dielectric films (hexoral solution, instrument oil) on its surface. It has been experimentally demonstrated that the application of these substances leads to a noticeable shift in the resonant frequency and the shape of the AFR, confirming the sensitivity of the method. To automate the measurements, a design based on the ADALM-Pluto SDR receiver with a step-bystep frequency scanning algorithm implemented in Python is proposed. The proposed solution is simple in design and can be applied to pollution monitoring, for example, to monitor emissions from spacecraft engines.
Access count: 51
Last 30 days: 15
