Details
| Title | Влияние внутренней зарядки на возможность катодолюминесцентного профилирования: beta-Ga[2]O]3], имплантированный бором // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 3. — С. 239-246 |
|---|---|
| Creators | Татаринцев А. А. ; Иешкин А. Е. ; Зыкова Е. Ю. ; Орликовская Н. Г. ; Киселевский В. А. |
| Organization | "Saratov Fall Meeting-2024", международная конференция |
| Imprint | 2025 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика ; Люминесценция ; оксид галлия ; катодолюминесцентное профилирование ; имплантирование бором ; спектры излучения ; электронные пучки ; профилирование дефектов ; металлические пленки ; катодолюминесценция |
| UDC | 535.37 |
| LBC | 22.345 |
| Document type | Article, report |
| Language | Russian |
| DOI | 10.61011/OS.2025.03.60238.139-24 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\77264 |
| Record create date | 10/31/2025 |
Исследовано влияние электризации образца электронным пучком на интегральную интенсивность катодолюминесценции и на форму спектра излучения. Для этого на примере Fe: beta-Ga[2]O]3], имплантированного бором, проведено сравнение результатов измерения катодолюминесценции для трех серий экспериментов: поверхность исследуемого образца не заземлена, заземлена, покрыта проводящей заземленной пленкой. Исследования показали, что даже при использовании металлической пленки накопление под ней заряда может искажать форму спектра. Такое искажение спектров при проведении катодолюминесцентного исследования с разрешением по глубине будет приводить к неправильному определению профилей концентрации дефектов. Сопоставление спектров, последовательно снятых при увеличении энергии электронного пучка и затем при уменьшении энергии, может быть предложено в качестве быстрого критерия оценки влияния зарядки на качество профилирования люминесцентных центров.
Access count: 0
Last 30 days: 0
