Details
| Title | Исследование влияния давления и электрического поля на эмиссию материала и скорость нанесения Al[2]O[3] и ZrO[2] в процессе импульсного лазерного осаждения // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 9. — С. 932-938 |
|---|---|
| Creators | Васильев М. И. ; Дудник Ю. Д. ; Сафронов А. А. ; Ширяев В. Н. ; Васильева О. Б. |
| Imprint | 2025 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Физика ; Физическая оптика ; лазерное осаждение ; импульсное лазерное осаждение ; эмиссия материалов (физика) ; электрическое поле ; лазерная абляция ; тонкие пленки (физика) ; плазменные факелы ; спектры излучения |
| UDC | 535.2/3 |
| LBC | 22.343 |
| Document type | Article, report |
| Language | Russian |
| DOI | 10.61011/OS.2025.09.61760.7627-25 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\77959 |
| Record create date | 1/13/2026 |
Исследовано создание покрытий на стальных подложках из тонких чередующихся слоев, состоящих из оксида алюминия и стабилизированного иттрием оксида циркония в вакуумной камере в атмосфере кислорода при импульсном лазерном осаждении с помощью эксимерного лазера KrF с длиной волны излучения 248 nm. Для увеличения скорости нанесения аблированных частиц между подложкой и мишенью в процессе обработки прикладывалось электрическое поле. Исследовалось влияние электрического поля различной полярности на скорость осаждения при различном давлении кислорода в вакуумной камере. Измерена спектральная интенсивность излучения плазменного факела атомов и ионизованных частиц во время обработки с целью исследования состава частиц в плазменном факеле. Выполнена запись эволюции изображений плазменного факела при различном давлении кислорода в вакуумной камере и проведена их обработка.
Access count: 19
Last 30 days: 9
