Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO[2]/Si[3]N[4]

Абанин, А. И.; Рязанов, Р. М.; Голиков, А. Д.; Ковалюк, В. В.; Венедиктов, И. О.; Ан, П. П.; Шимловская, Д. А.; Кицюк, Е. П.; Косолобов, С. С.; Лазаренко, П. И.; Гольцман, Г. Н.; Светухин, В. В.

Details

Title	Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO[2]/Si[3]N[4] // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 9. — С. 957-962
Creators	Абанин А. И. ; Рязанов Р. М. ; Голиков А. Д. ; Ковалюк В. В. ; Венедиктов И. О. ; Ан П. П. ; Шимловская Д. А. ; Кицюк Е. П. ; Косолобов С. С. ; Лазаренко П. И. ; Гольцман Г. Н. ; Светухин В. В.
Imprint	2025
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника ; Полупроводниковые приборы ; нитрид кремния ; кольцевые микрорезонаторы ; интегральные схемы ; фотонные интегральные схемы ; оптические устройства ; оптические параметры ; высокотемпературный отжиг ; добротность микрорезонаторов
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2025.09.61763.8228-25
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key	RU\SPSTU\edoc\77966
Record create date	1/13/2026

Allowed Actions

View

Развитие современных систем обработки информации ограничивается быстродействием электронных схем. Реализация высокоскоростной обработки информации следующего поколения становится крайне сложной задачей при использовании традиционной электронной компонентной базы. Одним из вариантов решения данной проблемы является переход к созданию систем на основе фотонных интегральных схем. В работе представлены результаты изготовления высокодобротных кольцевых микрорезонаторов из нитрида кремния. Для изготовления оптических устройств использовались структуры Si/SiO[2]/Si[3]N[4], сформированные с применением производственного оборудования НПК "Технологический центр". Исследованы зависимости оптических параметров структур от технологических режимов формирования нитрида кремния и применения дополнительного высокотемпературного отжига. Продемонстрированы образцы кольцевых резонаторов с добротностью >105 при радиусе кольца ~64 mum.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 12 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7925>.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. Т. 133, № 9, 2025. — (13 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=86181456>.

Access count: 49
Last 30 days: 16

Detailed usage statistics