Details

Title: Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 787-791
Creators: Акашев Л. А.; Махнев А. А.; Кочаков В. Д.; Владимиров А. П.; Дружинин А. В.
Imprint: 2022
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; стальные образцы; линейно-цепочечный углерод; углеродные пленки; оптические свойства; эллипсометрия; оптические постоянные пленки; импульсная углеродная плазма
UDC: 539.2
LBC: 22.37
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2022.05.52438.2650-21
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\68717

Allowed Actions: View

Annotation

Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1.13-5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2.35 до 2.73, а величина k изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной d = 92 плюс/минус 2 Angstrem. По типу проводимости ЛЦУ-пленка - диэлектрик (Eg = 4.1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок.

Usage statistics

stat Access count: 14
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics