Обеспечение надежности функционирования МЭМС-устройств является важнейшей задачей, стоящей перед разработчиками. Ввиду разнообразия конструкций и используемых материалов в MЭМС-устройствах возможно возникновение различных механизмов отказа. Большинство подобных устройств содержит подвижные части конструкции. Усталостные свойства используемых конструктивных материалов и их старение при длительной повторяющейся циклической нагрузке могут привести к отказу, что непосредственно влияет на надежность устройства. В работе проанализированы усталостные свойства и надежность работы чувствительного элемента микромеханического акселерометра (ЧЭ ММА) сэндвич-конструкции емкостного типа, выполненного из кремния. Рассчитаны число циклов периодического воздействия для наступления отказа и интенсивность отказов ЧЭ ММА. Учтена кристаллографическая ориентация плоскости поверхности кремния - материала ЧЭ ММА. Результаты моделирования показали, что ЧЭ ММА, изготовленный из кремниевого материала, может быть достаточно прочным для приложений общего назначения.

Ensuring the reliability of MEMS devices operation is the most important task solved by the developers. Due to the variety of designs and materials used in MEMS devices, different failure mechanisms can occur in them, and the reliability of MEMS under different failure mechanisms should be analyzed separately. There are moving parts in the structure of most of these devices. The fatigue properties of the structural materials used and their aging under prolonged repetitive cyclic loading can lead to failure, which directly affects the reliability of the device. In this work, the fatigue properties and reliability of the sensitive element (SE) of a micromechanical accelerometer (MMA) sandwich structure of a capacitive type made of silicon under the conditions of the mechanism of fatigue failure of the material are analyzed. The number of cycles of periodic action required for the occurrence of a failure and the SE failure rate have been calculated. The crystallographic orientation of the plane of the silicon surface, the SE material, was considered. Simulation results have shown that the fatigue life of SE MMA accelerometers made from silicon material can be reasonably good for general purpose applications. That is, silicon can be a good material for a SE MMA structure in terms of material fatigue.

Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. — Москва: МИЭТ, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 6 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7821>.

Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. — Москва: МИЭТ, 2022 -. Т. 27, № 2, 2022. — (13 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=48315867>.