Details

Title: Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiN[x], обогащённого кремнием // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 11. — С. 1718-1722
Creators: Перевалов Т. В.; Спесивцев Е. В.; Рыхлицкий С. В.; Бобовников П. Г.; Красников Г. Я.; Гриценко В. А.
Imprint: 2022
Collection: Общая коллекция
Subjects: Физика; Физика полупроводников и диэлектриков; нитрид кремния; пиролитический нитрид кремния; оптические свойства; обогащение кремнием; мемристоры; коэффициент поглощения; квантово-химическое моделирование
UDC: 537.311.33
LBC: 22.379
Document type: Article, report
File type: Other
Language: Russian
DOI: 10.21883/OS.2022.11.53779.3834-22
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Additionally: New arrival
Record key: RU\SPSTU\edoc\69684

Allowed Actions: View

Annotation

Нестехиометрический нитрид кремния SiN[x], обогащённый кремнием, является перспективным материалом для разработки энергонезависимой мемристорной памяти. В работе изучаются оптические свойства SiN[x], синтезированного в реакторе пониженного давления при 800 С при разных соотношения дихлорсилана (SiH[2]Cl[2]) к аммиаку (NH[3]). Установлено, что для плёнок, синтезированных при отношении SiH[2]Cl[2]/NH[3]=1/1, 1/2 и 1/3, соответствующие значения ширины запрещённой зоны составляют 3.83, 4.17 и 4.40 eV. При этом соответствующие значения параметра x, найденные по рассчитанной из первых принципов зависимости значения ширины запрещённой зоны SiN]x[ от x, составляют 1.26, 1.30 и 1.32. Таким образом, увеличивая отношение SiH[2]Cl[2]/NH[3], можно создавать нестехиометрические плёнки SiN[x] с контролируемой степенью обогащения кремнием при высокой однородности химического состава и толщины.

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics