Берлин, Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е. В. Берлин, Л. A. Сейдман. — Москва: Техносфера, 2014. — 256 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=342820>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978594836369.jpg>. — Текст: электронный