Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Метод взрывной литографии при изготовлении оптоэлектронных приборов // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Радиофизический факультет. — Ч.6

Creators	Чунарева А. В.; Ильинская Н. Д.
Other creators	Глухов В. В.
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб., 2005
Collection	Общая коллекция
Subjects	фоторезисторы; взрывная литография; профили фоторезисторов; фотополимеризация; термополимеризация; микролитография
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 229 Kb

Создание негативного изображения на позитивном фоторезисте // XXXVI неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвуз. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов, 26 ноября - 1 декабря 2007 г. Санкт-Петербург. – 2009. – Механико-машиностроительный факультет. Факультет технологии и исследования материалов. — Ч.3

Creators	Серебренникова О. Ю.; Саморуков Б. Е.; Ильинская Н. Д.; Усикова А. А.
Other creators	Рудской Андрей Иванович; Арсеньев Д. Г.; Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб.: Изд-во СПбГПУ, 2009
Collection	Общая коллекция
Subjects	литография; микроэлектроника; фотолитография
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 113 Kb

1