Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: специальность 01.04.04 "Физическая электроника": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Creators	Кобелев Антон Андреевич
Scientific adviser	Смирнов Александр Сергеевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Плазма (физ.) газоразрядная; Плазменная обработка; Твердые тела — Поверхностные явления; Газовый разряд высокочастотный; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
UDC	537.525(043.3); 539.231(043.3)
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18720/SPBPU/2/r19-50
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.5 Mb

1