Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Осипов Артём Арменакович Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Кварц; Кремний, карбиды; Ниобий, окислы; Литий UDC 621.794.6 Document type Scientific report File type PDF Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 11.06.01 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи DOI 10.18720/SPBPU/2/va19-2 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.2 Mb -
Creators Осипов Артём Арменакович Scientific adviser Кузин Алексей Константинович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Промышленное оборудование; Плазмохимия; Травление металлов; моделирование физико-химических процессов; разработка концепции; создание оборудования; плазмохимическое травление UDC 544.55:621.794.4 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 15.04.03 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr18-271 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.3 Mb
