Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Процессы формирования наночастиц оксида железа методом импульсной модуляции ВЧ-разряда при атмосферном давлении: выпускная квалификационная работа магистра: направление 16.04.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.04.01_02 «Наноразмерные структуры электроники»

Creators	Палёнов Михаил Евгеньевич
Scientific adviser	Габдуллин Павел Гарифович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2022
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Железо, окислы; Плазма (физ.); импульсный режим; плазмоактивируемое химическое осаждение из газовой фазы; pulsed mode; plasma-assisted chemical vapor deposition
UDC	546.72-31; 533.9
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	16.04.01
Speciality group (FGOS)	160000 - Физико-технические науки и технологии
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-349
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 2.4 Mb

1