Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Вакуумная техника: учебное пособие
Creators Лебедев Александр Анатольевич; Кожухов Юрий Владимирович; Данилишин Алексей Михайлович; Гилева Любовь Васильевна; Лебедева Светлана Михайловна; Прокофьев Алексей Юрьевич; Тузова Надежда Михайловна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2020 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Насосы криогенные UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 13.04.03 Speciality group (FGOS) 130000 - Электро- и теплоэнергетика DOI 10.18720/SPBPU/5/tr20-77 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.1 Mb -
Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Creators Мишин Максим Валерьевич; Архипов Александр Викторович; Габдуллин Павел Гарифович; Квашенкина Ольга Евгеньевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Микроэлектроника; Наноструктурные материалы; наноэлектроника; учебники и пособия для вузов UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/i19-225 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 8.1 Mb -
Creators Лукша Олег Игоревич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2022 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Электронные приборы сверхвысокочастотные; Вакуумная техника UDC 621.385.6(075.8); 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 16.03.01 Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии DOI 10.18720/SPBPU/2/id22-7 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 29 Mb