Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники

Creators	Алиева Александра Игоревна
Scientific adviser	Мишин Максим Валерьевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Кремний; Стекло; Травление металлов; Гироскопы; Датчики; bosch-процесс; травление кремния; микромеханические гироскопы; капсулированные датчики
UDC	621.794.44:669.782(043.3); 669.782:666.1/.28(043.3)
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 5.7 Mb

1