Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 2. — С. 222-231

Creators	Пьо Вин Тун; Симонов Б. М.; Тимошенков С. П.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Автоматика и телемеханика; МЭМС-датчики; чувствительность МЭМС-датчиков; МЭМС-датчики давления; датчики давления емкостного типа; мембраны различных форм; чувствительные элементы мембран; микроэлектромеханические системы; MEMS sensors; sensitivity of MEMS sensors; MEMS-pressure sensors; pressure sensors of capacitive type; membranes of various shapes; membrane sensing elements; microelectromechanical systems
UDC	621.398
LBC	32.96
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-2-222-231
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=50767480

1