Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Тихий А. А.; Николаенко Ю. М.; Свиридова Е. А.; Жихарев И. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Спектроскопия; оптические характеристики пленок; магнетронное напыление; напыление на подложках; показатели преломления; микроструктура пленок; поликристаллические мишени; монокристаллические подложки
UDC	535.33
LBC	22.344
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49508662