Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Моделирование емкостного МЭМС-акселерометра: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Интегральная электроника и микросистемотехника»

Creators	Расулов Тамерлан Эльдар Оглы
Scientific adviser	Лобода Вера Владимировна
Other creators	Енученко Михаил Сергеевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	емкостной микроэлектромеханический акселерометр; мэмс; упругий подвес; сверхчувствительность; математическое моделирование; capacitive microelectromechanical accelerometer; mems; folded beam; ultra sensitivity; mathematical modeling
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	11.04.04
Speciality group (FGOS)	110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-2797
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.7 Mb

1