Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Грудцов В. П.; Еганова Е. М.; Губанова О. В.; Горячев А. В.; Пучнин К. В.; Рязанцев Д. В.; Кузнецов А. Е.; Комарова Н. В.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; сенсоры; сенсоры на основе полевого эффекта; оксид тантала; атомно-слоевое осаждение; ISFET-транзисторы; биосенсоры; pH-сенсоры; sensors; field effect sensors; tantalum oxide; atomic layer deposition; ISFET transistors; biosensors; pH sensors
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-6-724-735
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75220368