Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование влияния степени вакуумирования на добротность колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 5. — С. 642-648

Creators	Тимошенков С. П.; Тимошенков А. С.; Анчутин С. А.; Кочурина Е. С.; Дернов И. С.; Мусаткин А. С.; Лебедев А. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; МЭМС-датчики; микроэлектромеханические системы; чувствительные элементы датчиков; колебательные контуры; добротность колебательных контуров; вакуумирование; степень вакуумирования; MEMS sensors; microelectromechanical systems; sensor sensing elements; oscillating circuits; Q-factor of oscillatory circuits; vacuuming; degree of vacuuming
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-5-642-648
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54683307

1