Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Алексеев Владислав Алексеевич Scientific adviser Волков Андрей Николаевич Other creators Серикова Елена Андреевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects автоматизация; плазмохимическое травление; алгоритм; управление; реактор; камера; манипулятор; automation; plasma chemical etching; algorithm; control; reactor; chamber; manipulator Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 15.03.04 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4316 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 4.3 Mb -
Creators Гагаева Алина Евгеньевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; монокристаллический кремний; глубокое травление; анизотропное травление; plasma chemical etching; monocrystalline silicon; seep etching; anisotropic etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2117 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.6 Mb
