Поиск по электронным документам
Найдено документов: 1
-
Introductory MEMS : fabrication and applications
Авторы Adams Thomas M.; Layton Richard A. Выходные сведения Boston, MA: Springer, 2010 Коллекция Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Тематика Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Датчики; Полупроводники; sensors; integrated circuit; mechanics; semiconductors; microelectromechanical system (MEMS) УДК 621.382.049.77; 681.586; 537.311.322 Тип документа Другой Тип файла Другой Язык Английский Права доступа Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-09511-0
