Детальная информация
| Название | Равновесное распределение примеси и потенциала в полупроводниковых структурах конечного размера // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты |
|---|---|
| Авторы | Крюков А.И.; Бондаренко Вячеслав Борисович |
| Другие авторы | Глухов Владимир Викторович |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Радиофизический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Выходные сведения | СПб., 2002 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | полупроводниковая электроника; субмикронные технологии; композитные материалы; дисперсные материалы; диффузиозные процессы; перераспределение; примеси; уровень легирования |
| УДК | 537.533.8 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\989 |
| Дата создания записи | 12.04.2002 |
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 717
За последние 30 дней: 12
