Details
Title | Моделирование образования разупорядоченных областей при облучении кремния ионами средних масс // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты |
---|---|
Creators | Хуторщиков М.В.; Титов Андрей Иванович |
Other creators | Глухов Владимир Викторович |
Organization | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Радиофизический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
Imprint | СПб., 2002 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | разупорядоченные области; ионы; средние массы; тяжелые ионы; имплантация; субкаскады; пики смещения; тепловые пики; смещенные атомы |
UDC | 621.38:537.534.9 |
Document type | Article, report |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\1029 |
Record create date | 4/18/2002 |
Access count: 811
Last 30 days: 12