|
Название:
|
Лазерная плазма для нанолитографии - простая математическая модель и сравнение с экспериментом // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. – 2005. – Физико-механический факультет, физико-технический факультет, факультет медицинской физики и биоинженерии
|
Авторы:
|
Алексеев А.М.;
Горелов В.А.;
Сейсян Р.П.;
Калмыков С.Г.
|
Другие авторы:
|
Глухов В.В.
|
Организация:
|
Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург);
Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
|
Выходные сведения:
|
СПб., 2005
|
Коллекция:
|
Общая коллекция
|
Тематика:
|
молибденовые мишени;
плазма;
лазерные искры
|
Тип документа:
|
Статья, доклад
|
Тип файла:
|
PDF
|
Язык:
|
Русский
|
Права доступа:
|
Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
|
Ключ записи:
|
RU\SPSTU\edoc\11291
|
Разрешенные действия:
Прочитать
Загрузить
(137 Кб)
Группа:
Анонимные пользователи
Сеть: Интернет
|