Лазерная плазма для нанолитографии - простая математическая модель и сравнение с экспериментом [Электронный ресурс] / А.М. Алексеев, В.А. Горелов, Р.П. Сейсян, С.Г. Калмыков. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 136 Кб) // Материалы... 29 ноября- 4 декабря 2004 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научно-техническая конференция, Неделя науки (33; 2004; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. – Санкт-Петербург. – 2005. – Физико-механический факультет, физико-технический факультет, факультет медицинской физики и биоинженерии [Электронный ресурс]. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/006353.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2012
|
19
|
0
|
19
|
0
|
38
|
|
Год 2013
|
70
|
0
|
35
|
0
|
105
|
|
Год 2014
|
92
|
0
|
30
|
0
|
122
|
|
Год 2015
|
77
|
0
|
44
|
0
|
121
|
|
Год 2016
|
65
|
0
|
40
|
0
|
105
|
|
Год 2017
|
35
|
0
|
16
|
0
|
51
|
|
Год 2018
|
60
|
0
|
39
|
0
|
99
|
|
Год 2019
|
15
|
0
|
18
|
0
|
33
|
|
Год 2020
|
26
|
0
|
16
|
0
|
42
|
|
Год 2021
|
20
|
0
|
26
|
0
|
46
|
|
Год 2022
|
27
|
0
|
24
|
0
|
51
|
|
Год 2023
|
19
|
0
|
37
|
0
|
56
|
|
Год 2024
|
18
|
0
|
23
|
0
|
41
|
|
Всего
|
543
|
0
|
367
|
0
|
910
|
