Горелов, В.А. Проблема фоторезиста для нанолитографии [Электронный ресурс] / В.А. Горелов, Р.П. Сейсян. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 77,6 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007013.pdf>.
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Вчера
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Последние 30 дней
|
3
|
0
|
7
|
0
|
10
|
Последние 365 дней
|
23
|
0
|
34
|
0
|
57
|
За все время
|
318
|
0
|
297
|
0
|
615
|