В работе экспериментально установлены физико-химические закономерности процессов химического осаждения из газовой фазы слоёв диоксида титана в системах реагентов тетраизопропилат титана (ТИПТ)-O2-Ar и ТИПТ-O2-O3-Ar. Изучены состав и структура полученных покрытий, а также такие практически важные свойства как фотокаталитическая активность, биоактивность и сенсорная чувствительность по отношению к парам этанола.