Details

Title: Исследование высокочастотной плазменной технологии очистки кремния для производства солнечных батарей: магистерская диссертация
Creators: Николаев Владислав Александрович
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт энергетики и транспортных систем
Imprint: Санкт-Петербург, 2014
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Плазмотроны; Кремний — Очистка; Солнечные батареи
UDC: 621.387.142:669.782.4(043.3)
Document type: Other
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\23021

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В данной работе производилось исследование высокочастотных технологий обработки кремния. Были выявлены достоинства и недостатки технологий. Была получена теоретическая производительность. Произведен расчет источника питания.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 862
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics