Пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины «Туннельная и атомно-силовая микроскопия», направлений подготовки магистров «Техническая физика», «Электроника и наноэлектроника». Системно излагаются основы сканирующей зондовой микроскопии. Преподносятся методики работы сканирующих зондовых микроскопов. Дается инновационный подход к объективному выбору методов исследования применительно к специфике объекта исследования. Приводятся сравнительные характеристики и тенденции развития зондовых методов исследования сложных биологических объектов. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки магистров «Техническая физика», «Электроника и наноэлектроника». Учебное пособие может быть использовано при обучении студентов направлений подготовки «Химия, физика и механика материалов», «Материаловедение и технологии материалов».