Особенности накопления структурных нарушений при имплантации ионов разных масс в альфа-оксид галлия при малых уровнях повреждения = Peculiarities of structure damage accumulation under the implantation of ions of different masses into alpha-gallium oxide at low damage levels / А. И. Клевцов, П. А. Карасев, К. В. Карабешкин, А. И. Титов. — 1 файл (497 Кб). — (Физика конденсированного состояния). — DOI 10.18721/JPM.16404. — Текст: электронный // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2023. – Т. 16, № 4. — С. 42-49. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/j24-74.pdf>.