Конаков, Степан Андреевич. Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники [Электронный ресурс]: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 / Конаков Степан Андреевич; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого ; науч. рук. В. В. Кржижановская. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,39 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбГПУ (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r18-45.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/r18-45>.

Дата создания записи: 22.08.2018

Тематика: Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение

УДК: 621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)

Коллекции: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция

Ссылки: DOI