Детальная информация

Название: Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Авторы: Конаков Степан Андреевич
Научный руководитель: Кржижановская Валерия Владимировна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика: Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение
УДК: 621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)
Тип документа: Автореферат
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/r18-45
Права доступа: Доступ из локальной сети ФБ СПбГПУ (чтение)

Разрешенные действия: Прочитать Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

В работе описаны новые методы проектирования и расчета химических микрореакторов. Показаны теоретические и экспериментальные результаты для реакторов с жидкой и с газовой фазой. Даны примеры практического применения микрореакторов в технологии производства устройств микросистемной техники.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
Интернет Все

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 4
За последние 30 дней: 2
Подробная статистика