Детальная информация

Конаков, Степан Андреевич. Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники [Электронный ресурс]: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 / Конаков Степан Андреевич; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого ; науч. рук. В. В. Кржижановская. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,39 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбГПУ (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r18-45.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/r18-45>.

Дата создания записи: 22.08.2018

Тематика: Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение

УДК: 621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)

Коллекции: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция

Ссылки: DOI

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В работе описаны новые методы проектирования и расчета химических микрореакторов. Показаны теоретические и экспериментальные результаты для реакторов с жидкой и с газовой фазой. Даны примеры практического применения микрореакторов в технологии производства устройств микросистемной техники.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
-> Интернет Все

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика