Детальная информация
| Название | Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Авторы | Конаков Степан Андреевич |
| Научный руководитель | Кржижановская Валерия Владимировна |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2018 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Электронные приборы — Производство - Оборудование ; Осаждение (хим. ) ; Травление металлов ; Пленки тонкие — Получение |
| УДК | 621.793.3(043.3) ; 621.794.44(043.3) ; 539.23(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r18-45 |
| Права доступа | Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\53216 |
| Дата создания записи | 22.08.2018 |
Разрешенные действия
–
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
В работе описаны новые методы проектирования и расчета химических микрореакторов. Показаны теоретические и экспериментальные результаты для реакторов с жидкой и с газовой фазой. Даны примеры практического применения микрореакторов в технологии производства устройств микросистемной техники.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|
Количество обращений: 4
За последние 30 дней: 0
