Спешилова, Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением [Электронный ресурс]: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 / Спешилова Анастасия Борисовна; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого ; науч. рук. С. Е. Александров. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 0,75 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/r19-17.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/r19-17>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Yesterday
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Last 30 days
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Last 365 days
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
All time
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
