Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: – Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В работе обсуждается применение плазмохимического травления в среде кислорода для прецизионной «подгонки» толщины фоторезистивных слоев. Рассмотрены варианты травления в различных технологических установках. Показано, что вынесение обрабатываемых образцов из зоны возбуждения разряда позволяет контролируемо получать слои требуемой толщины с минимальной шероховатостью поверхности. Результаты работы были успешно использованы при изготовлении МЭМС-переключателя резистивно-емкостного типа с электростатическим приводом.
Права на использование объекта хранения
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|
Статистика использования
Количество обращений: 1
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |