?

Детальная информация
Таблица Карточка RUSMARC
Название: Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники: автореф. дис. … д-ра техн. наук: 05.27.06
Авторы: Клунникова Юлия Владимировна
Другие авторы: Малюков Сергей Павлович; Филимонов Алексей Владимирович
Организация: Южный федеральный университет (ЮФУ); Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2019
Коллекция: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика: Сапфир; Кристаллы — Выращивание; Кристаллизация направленная; Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
УДК: 548.5:549.517.14(043.3); 539.216.2(043.3)
Тип документа: Автореферат
Тип файла: PDF
Язык: Русский
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-19
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\60820

Разрешенные действия: –

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Проведен комплекс теоретических и экспериментальных исследований по усовершенствованию технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники. На основе исследований роста кристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации и новых аналитических и экспериментальных данных определены условия, позволяющие получать кристаллы высокого качества. Усовершенствована технология получения подложек из сапфира для интегральных схем, газочувствительных датчиков и защитных покрытий на базе разработанных физико-технологических основ получения кристаллов сапфира.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 26
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика