| Table | Card | RUSMARC | |
|
|
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Пособие соответствует государственному образовательному стандарту по дисциплине "Физико-химические основы технологии полупроводников" для студентов, обучающихся по программе бакалавров по направлению 550100 "Техническая физика". Рассмотрены основные физико-химические инструменты полупроводниковой технологии - пучковые потоки, низкотемпературная плазма, газофазная эпитаксия. Изучение этих разделов является особенно полезным на начальных этапах участия студентов в реальных условиях научных исследований, как экспериментальных (технологических и материаловедческих), так и теоретических. Предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 553101 "Прикладная физика твердого тела", 553102 "Физика и техника полупроводников", студентам старших курсов и аспирантам, специализирующихся в области технологии и исследования твердого тела. Предназначено для студентов физико-технического факультета.
Печатается по решению редакционно-издательского совета Санкт-Петербургского государственного политехнического университета.
Document access rights
| Network | User group | Action | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
||||
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
||||
|
Internet | Anonymous |
Table of Contents
- ОГЛАВЛЕНИЕ
- Введение
- Глава 1. Планарная технология полупроводников
- Глава 2. Взаимодействие корпускулярных потоков с твердым телом
- Глава 3. Взаимодействие электронных потоков с твердым телом
- Глава 4. Физико-химические превращения в низкотемпературной плазме
- Глава 5. Осаждения пленок в процессе ионно-плазменного распыления
- Приложение
- Библиографический список
Usage statistics
|
|
Access count: 9
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |