Details

Title: Влияние облучения атомарными и молекулярными ионами на структуру и поверхность нитрида галлия: магистерская диссертация: 16.04.01
Creators: Монго Элвис Эмсон Эммануэлевич
Scientific adviser: Карасев Платон Александрович
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2016
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Пленки тонкие — Получение; Ионизация поверхностная; Полупроводники — Дефекты; Галлий, нитриды; атомно-силовая микроскопия; аморфный слой; свеллинг; atomic force microscopy; amorphous surface layer; swelling
UDC: 537.563.7:661.868.1(043.3); 539.23:548.4(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 16.04.01
Speciality group (FGOS): 160000 - Физико-технические науки и технологии
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v16-2773
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\36188

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Параметры пучка и подложки оказывают непосредственное влияние на накопление структурных нарушений, поэтому работа посвящена определению параметров дефектообразования и определению их зависимости от условий облучения. Основной упор делался на описание характера этих зависимостей, поиск причины и теоретического обоснования их возникновения.

Parameters of both the beam and the substrate have strong influence on accumulation of structural defects, therefore the presented work includes definition of defect generation parameters and of their dependence on irradiation conditions. The main focus is made at characterization of this dependence, determination its origin and theoretical description.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 330
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics