Details
Title | Получение абсолютно калиброванных спектров излучения плотной Xe плазмы в EUV-диапазоне: бакалаврская работа: 03.03.02 |
---|---|
Creators | Буторин Павел Сергеевич |
Scientific adviser | Смирнов Александр Сергеевич |
Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
Imprint | Санкт-Петербург, 2017 |
Collection | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
Subjects | Лазерная плазма; Лазерное излучение; Ксенон; EUV литография; спектры излучения; Брэгговские зеркала |
Document type | Bachelor graduation qualification work |
File type | |
Language | Russian |
Level of education | Bachelor |
Speciality code (FGOS) | 03.03.02 |
Speciality group (FGOS) | 030000 - Физика и астрономия |
DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-2543 |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\39984 |
Record create date | 7/28/2017 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
Представленная работа ориентирована на обоснование перевода EUV литографии на рабочую длину волны ?= 11,2 нм, для последующего внедрения в промышленное производство. Целью исследования является получение абсолютно калиброванного спектра плотной Xe плазмы, а из него - соотношения интенсивностей на длинах волн ?= 11,2 нм и ?= 13,5 нм. Для проведения измерений использовались Si/Mo и Mo/Be интерференционные зеркала, с помощью которых была измерена спектральная плотность излучения, попадающего в окно приёмника, как функция от длины волны в полосах 11÷11,8 и 12,8÷14,2 нм соответственно. Также была проведена абсолютная калибровка спектров излучения Xe плазмы, полученных независимо ранее. Измерения с Mo/Be зеркалом проводилась впервые в мире.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
Access count: 299
Last 30 days: 0