Детальная информация

Название: Использование методов атомно-силовой микроскопии для изучения топографии поверхности кремниевых пластин: бакалаврская работа: 11.03.04
Авторы: Пиотровский Георгий Александрович
Научный руководитель: Сударь Николай Тобисович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2017
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: Микроскопия; Пластины — Деформация; Кремний; атомно-силовая микроскопия; шероховатость пластин; пирамидоидальные структуры
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 11.03.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v17-4857
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение)

Разрешенные действия: Прочитать Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

Представлены результаты экспериментального изучения методами атомно-силовой микроскопии изменения топографии поверхности кремниевых пластин, обработанных различными способами. Установлено, что в процессе обработки на поверхности кремниевой пластины формируются пирамидоидальные структуры, средняя высота которых лежит в пределах от 1,0 нм и до 2,2 нм в зависимости от способа обработки. Показано, что методика АСМ позволяет визуализировать рельеф текстурированной поверхности кремниевой пластины, обработанной различными способами.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать
Интернет Все Прочитать

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 55
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика