Детальная информация
| Название | Использование методов атомно-силовой микроскопии для изучения топографии поверхности кремниевых пластин: бакалаврская работа: 11.03.04 |
|---|---|
| Авторы | Пиотровский Георгий Александрович |
| Научный руководитель | Сударь Николай Тобисович |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2017 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | Микроскопия ; Пластины — Деформация ; Кремний ; атомно-силовая микроскопия ; шероховатость пластин ; пирамидоидальные структуры |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Бакалавриат |
| Код специальности ФГОС | 11.03.04 |
| Группа специальностей ФГОС | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/v17-4857 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\45725 |
| Дата создания записи | 23.10.2017 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Представлены результаты экспериментального изучения методами атомно-силовой микроскопии изменения топографии поверхности кремниевых пластин, обработанных различными способами. Установлено, что в процессе обработки на поверхности кремниевой пластины формируются пирамидоидальные структуры, средняя высота которых лежит в пределах от 1,0 нм и до 2,2 нм в зависимости от способа обработки. Показано, что методика АСМ позволяет визуализировать рельеф текстурированной поверхности кремниевой пластины, обработанной различными способами.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 63
За последние 30 дней: 0
