Детальная информация

Название: Зависимость топографии поверхности металлосодержащих покрытий от условий их нанесения и последующей обработки: выпускная квалификационная работа бакалавра: 16.03.01 - Техническая физика ; 16.03.01_05 - Физическая электроника
Авторы: Филатов Виктор Андреевич
Научный руководитель: Архипов Александр Викторович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: атомно-силовая микроскопия; металлические пленки; зондовая микроскопия; топография поверхности; метод магнетронного распыления
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 16.03.01
Группа специальностей ФГОС: 160000 - Физико-технические науки и технологии
Ссылки: http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-1088; http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-1088-o.pdf
Права доступа: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (1,6 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В данной работе были исследованы поверхности металлических пленок с помощью методик атомно-силовой микроскопии. Пленки наносились на кремниевые подложки методом магнетронного распыления. Изучение топографии раскрывает принципиальное различие в механизмах роста пленок титана и молибдена. Используя те же методики, был проведен сравнительный анализ углеродных пленок, легированных металлическими примесями до и после облучения быстрыми ионами серебра. Было обнаружено, что степень изменения поверхности оказалась малой, в отличие от тех изменений морфологии, которые наблюдались в изображениях СЭМ.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
-> Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 65
За последние 30 дней: 4
Подробная статистика