Алемаскин, Никита Денисович. Исследование ионно-плазменных методов осаждения изоляционных ALN-покрытий, выбор оптимального технологического процесса [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_03 - Физика ядра и элементарных частиц / Н. Д. Алемаскин; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; науч. рук. Д. А. Карпов. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,99 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/v18-5622.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/2/v18-5622>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-5622-r.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2018
|
Квартал 4
|
Декабрь
|
9
|
0
|
0
|
0
|
9
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Март
|
10
|
0
|
0
|
0
|
10
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Май
|
10
|
0
|
0
|
0
|
10
|
|
Июнь
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Август
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Сентябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Ноябрь
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Февраль
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Март
|
2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
Январь
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
51
|
0
|
3
|
0
|
54
|
